恒格高分子材料_珠海恒格微電子裝備有限公司

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恒格密封產品分類三——耐高溫 Excellent Temp Resistance

恒格密封產品分類三——耐高溫 Excellent Temp Resistance

采用能強化聚合物穩定性且抗高溫的填加物（如石墨等）最高工作溫度：325度應用：半導體高溫制程，爐管，退火等制程應用位置：中心環密封，過濾器密封耐高溫材料物性

恒格密封產品分類二——超潔凈 Ultra Clean

恒格密封產品分類二——超潔凈 Ultra Clean

采用對制程無污染、且分子量極小的材質作為填加物（如：硅等）優點：無固態生成物應用：干式和濕式半導體工藝應用位置：進氣口/孔密封、室內蓋密封、隔離閥密封等超潔凈材料物性

恒格密封產品分類一——超強耐腐蝕類 Low Etch Rate

恒格密封產品分類一——超強耐腐蝕類 Low Etch Rate

采用化學穩定性極高的金屬化合物粉末作為填加物（如硫鋇BaSO4，二氧化鈦TiO2，陶瓷等）優點：極好的耐等離子腐蝕性能應用：深硅刻蝕設備、AMAT ETCH 裝備的標準配置應用位置：腔體門板、進氣口超強耐腐蝕類材料物性

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